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硬质薄膜与涂层技术:既硬又韧的陶瓷涂层之开发

发布时间:2016-03-03

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报告摘要:
结合真空与等离子体的基础知识,从原理上讲解制备高性能薄膜的一些条件。通过制备纳米多层,梯度层及在薄膜中掺入碳纳米管、Si、Ni、V等物质来提高薄膜韧性的方法,获得硬度超过30GPa,韧性提高数倍的pc-CrAlSiN/composite-CrAlSiN纳米多层结构的涂层,打破了硬度和韧性不可兼得的魔咒。

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